根據中國海關數據，2023年，中國大陸用於晶片製造的半導體設備的進口總額達到了接近400億美元，年增了14%。這也是自2015年有記錄以來的第二大進口額，反應了中國積極發展半導體製造業的努力。

外媒通報顯示，中國大陸於2023年12月從荷蘭進口的光刻設備金額高達11億美元，較去年同期成長近1,000%，較上季成長也高達44.2%。

根據先前的數據顯示，中國大陸於2023年11月進口了42台光刻設備，總價值高達8.168億美元。其中，有16台光刻機是來自荷蘭的ASML，總價值7.627億美元，年增了1050%。

2023年10月中國大陸從荷蘭進口的光刻機數量更是高達21台，總價值為6.725億美元，比起11月進口的16台光刻機的總價值還要低。

顯然，如果從均價來看，11月中國從荷蘭進口的光刻機均價比10月進口的光刻機高出46%。

整體來看，在2023年四季度，中國大陸從荷蘭ASML進口的光刻機總額達到了25.352億美元。

根據業界的分析，近幾個月來，中國大陸從荷蘭ASML進口的光刻機數量和進口額的激增，可能是ASML趕在其許可證在2023年12月31日失效前匆忙出貨的結果。

2023年9月1日，荷蘭政府先前於6月底頒布的有關先進半導體設備的額外出口管制的新條例正式生效。這些新的出口管制條例主要針對的對象為先進的晶片製造技術，包括先進的沉積設備和浸沒式光刻系統。

當時ASML發言人就表示，儘管荷蘭出口限制從9月開始生效，但該公司現有的許可證仍能夠允許其在2023年底前繼續將NXT:2000i 和更先進的DUV光刻機運送到中國。

“我們的客戶了解出口管制法規，因此他們知道，自2024年1月1日起，我們不太可能獲得向中國國內客戶運送這些系統的出口許可證。”

Stiftung Neue Verantwortung科技與地緣政治經理Jan-Peter Kleinhans表示，ASML近幾個月出貨到中國大陸的設備，多數在2022年底或2023年初就已取得了許可。

他說，ASML在2023年中的前置時間大約18個月，意味著2023年第四季度出貨的設備，應該是在2022年Q2或Q3就下了訂單。

值得注意的當地時間2024年1月1日，光刻機大廠ASML發布聲明稱，荷蘭政府最近已經部分吊銷了2023年發貨NXT:2050i和NXT:2100i光刻系統的許可證，影響到了少數中國客戶。

也就是說，ASML的部分對中國客戶的出口許可證在2023年12月31日到期前，就已經被荷蘭政府吊銷了。

不過，隨後ASML官方對外表示，中國大陸客戶預付購買DUV光刻機所積壓訂單基本上都已完成交付。