佳能將在日本東部栃木縣新建一座半導體設備廠，目標將當前產能提高一倍，總投資額超過500億日元（約3.45億美元），計劃在2023年動工，2025年春季開始運營。據日經新聞報導，佳能計劃提高光刻機產量，還將考慮生產能夠以低成本製造尖端精細電路的下一代系統。

目前佳能在日本的兩家工廠生產相關設備，可用於汽車控制系統等應用的芯片製造。

新工廠將建在現有工廠基礎上，這是佳能21年來建造的第一座光刻設備新工廠。