台積電和三星均已投入5nm工藝的量產，前者代工的產品包括蘋果A14、M1、華為麒麟9000等，後者則包括Exynos 1080以及傳言中的驍龍875等。其實從7nm開始，台積電和三星就開始引入EUV光刻，但過程層數較少。

按照ASML（阿斯麥）的說法，迭代到5nm後，EUV的層數達到了14層，包括但不限於觸點、過孔以及關鍵金屬層等過程。未來的3nm、2nm，對EUV的依賴將更甚。

作為目前唯一能生產EUV光刻機的荷蘭ASML來說，自然成了台積電和三星爭搶的香餑餑，即便單台價格達到了1.2億歐元（約合9.4億元人民幣）。

來自Digitimes的最新報導稱，台積電為明年生產，已經向ASML下定了至少13台EUV光刻機。簡單估算的話，花費的金額超120億元人民幣。

需要明白的是，EUV光刻機不是有錢就能買，因為ASML每年的產能非常有限，2019年全年才出貨了26台，今年上半年出貨了13台，截至三季度結束累計才出貨23台。

另外，ASML定於明年中旬交付最新一代EUV光刻機TWINSCAN NXE:3600D，生產效率提升18%、機器匹配套準精度改進為1.1nm，不出意外的話，台積電應該是首批客戶。